¿Dónde se utilizan las almohadillas para pulir obleas de silicona?

Las obleas pulidas son el producto más utilizado y otros productos de obleas de silicio se producen mediante procesamiento secundario a partir de obleas pulidas.
Las obleas pulidas son las obleas de silicio más básicas y más utilizadas. Las obleas pulidas se pueden usar directamente para fabricar dispositivos semiconductores, ampliamente utilizadas en chips de memoria y dispositivos de energía, y también se pueden usar como materiales de sustrato para obleas epitaxiales, obleas de silicio SOI y otros tipos de obleas de silicio.
Con la reducción continua del ancho de línea característico de los circuitos integrados y la precisión cada vez más fina de la litografía, las irregularidades extremadamente pequeñas en la oblea de silicio provocarán la deformación y dislocación de los gráficos del circuito integrado. La tecnología de fabricación de obleas de silicio se enfrenta a requisitos y desafíos cada vez mayores. El tamaño de las partículas de la superficie del chip y la limpieza también tienen un impacto directo en el rendimiento de los productos semiconductores.
Por tanto, el proceso de pulido es muy importante para mejorar la planitud y limpieza de la superficie de la oblea de silicio. El principio fundamental es lograr la planarización de la superficie de la oblea de silicio semiconductor y reducir la rugosidad eliminando la capa de daño residual en la superficie procesada.