¿Qué es una muesca de oblea?
Una muesca es una pequeña ranura cortada directamente debajo de una oblea de silicio, generalmente en forma de V o U. Notch tiene dos funciones. Uno es marcar la orientación del cristal de la oblea de silicio, como<100>, <110>, <111>, etc. La otra función es permitir que la oblea de silicio se coloque y alinee correctamente en los equipos de fabricación de semiconductores. Generalmente, las muescas se encuentran en obleas de 8-pulgadas y 12-pulgadas.
¿Cómo es Notch?
El tamaño de la muesca debe cumplir estrictamente con los estándares SEMI, como se muestra en la figura anterior:
1. Vw representa el ancho total de la muesca y su tamaño está relacionado con el diámetro y el grosor de la oblea de silicio.
2. Vh es la profundidad de la muesca, que indica la distancia vertical desde el borde de la oblea de silicio hasta el fondo de la ranura. Generalmente oscila entre 1,0 y 1,25 mm. Vh es crucial para garantizar la precisión de alineación de la muesca.
3. AngV, es decir, ángulo de muesca. AngV es el ángulo de la muesca, que es el ángulo entre los bordes de la ranura en ambos lados. Generalmente está entre 89 grados y 95 grados. Este ángulo juega un papel decisivo en la geometría y posicionamiento de la entalla.
4. R1 y R2 representan los radios de las esquinas a ambos lados de la muesca. Estos dos radios determinan la suavidad de las esquinas de la ranura, afectan la concentración de tensiones de la muesca y afectan las propiedades mecánicas de la oblea de silicio.
5. Vr es el radio de curvatura en el fondo de la muesca, que indica el tamaño del arco en el fondo de la ranura. Vr puede cambiar la forma de la curva y la suavidad de la muesca. Un Vr mayor puede hacer que la parte inferior de la muesca sea más plana, lo que ayuda a reducir la concentración de tensión.
6. Orientación de la muesca: La dirección de la ranura es paralela a la orientación específica del cristal de la oblea y se permite una desviación de ±2 grados.