Obleas ficticias
La palabra "ficticia" significa obleas ficticias "falsas" o "simuladas .", también conocidas como obleas falsas, generalmente no tienen patrón o solo unas pocas capas estampadas . Sus principales escenarios de aplicación son:
Utilizado para depurar y calibrar equipos de semiconductores para garantizar que esté en condiciones óptimas antes de la producción formal .
Se utiliza al introducir nuevos procesos o ajustar los existentes, permitiendo la prueba y la optimización para reducir los riesgos a las obleas de producción en masa .
Obleas de prueba
Las obleas de prueba (también llamadas obleas de ingeniería) pasan por el flujo de proceso completo y contienen varios patrones y estructuras . Sus funciones principales son:
Durante la introducción de nuevos productos de chips, las obleas de prueba se utilizan para verificar y optimizar el proceso de fabricación, lo que en última instancia permite la producción en masa .
Cuando se producen problemas de proceso con las obleas de producción en masa, las obleas de prueba se utilizan para las pruebas de DOE (diseño de experimentos) correspondientes para ayudar a mejorar el proceso .
Obleas de producción en masa
Las obleas de producción en masa se utilizan para producir dispositivos semiconductores que se envían a los clientes . Estas obleas sufren un estricto control de calidad durante el proceso de producción para garantizar que los productos finales cumplan con los requisitos del cliente .
¿Por qué estos tipos de obleas se clasifican por separado?
La distinción se basa principalmente en el costo y la importancia . en términos de costo y criticidad:
Observadores de producción en masa> Observadores de prueba> obleas ficticias .
Las obleas de producción en masa se envían a los clientes y representan la línea de vida económica de toda la compañía . Es esencial que completen la producción con alta calidad y alto rendimiento . sus parámetros de proceso y flujos de trabajo son relativamente fijos, y cualquier cambio debe ser 100% seguro y confiable .}
Por lo tanto, las obleas ficticias y obleas de ingeniería (ENG) de menor costo y más flexibles se utilizan para evitar desperdiciar valiosas obleas de producción en masa durante las pruebas y la optimización de procesos .