¿Qué es el borde plano de una oblea de silicio?
A lo plano también se le puede llamar borde de posicionamiento.
Las obleas de silicio de 2, 4 y 6- pulgadas no son completamente redondas, sino que tienen una esquina faltante cortada. Después de extraer el lingote de silicio mediante el método CZ, antes de cortarlo en obleas de silicio, una vez que se determina la orientación del cristal, se cortarán uno o más bordes planos en el lingote con una sierra de diamante. Por lo tanto, la oblea de silicio tiene 1-2 bordes de posicionamiento, el borde de posicionamiento largo está en la parte inferior de la oblea y el borde de posicionamiento corto no está fijo en su posición, sino que cambia con la orientación del cristal y el tipo de dopaje.
¿Cuál es la relación entre la posición del borde de posicionamiento y la orientación del cristal?
Generalmente existen tres tipos de orientaciones de cristales para obleas de silicio:<111> <110> <100>.
Cuando el ángulo entre el borde de posicionamiento principal y el borde de posicionamiento secundario es de 45 grados, el tipo de oblea de silicio es tipo n.<111>; cuando el ángulo entre el borde de posicionamiento principal y el borde de posicionamiento secundario es de 90 grados, el tipo de oblea de silicio es tipo p<100>; cuando el ángulo entre el borde de posicionamiento principal y el borde de posicionamiento secundario es de 180 grados, el tipo de oblea de silicio es tipo n<100>. Desde el<110>La orientación del cristal no es una orientación de cristal de oblea de silicio convencional, no existe un estándar para representarla.<110>La orientación del cristal se puede representar de acuerdo con los propios estándares del proveedor de obleas de silicio.
¿Son fijas las longitudes de los bordes de posicionamiento primario y secundario?
Sí, debido a que necesitan coincidir con los equipos de fabricación de semiconductores, las longitudes y posiciones de los bordes de posicionamiento primario, primario y secundario son fijas.
En general, la longitud del borde de posicionamiento primario de una oblea de silicio de 2- pulgadas es de 15,8 mm, la longitud del borde de posicionamiento primario de una oblea de silicio de 4- pulgadas es de 32,5 mm y la longitud del borde de posicionamiento primario de una oblea de silicio de 6- pulgadas es de 57,5 mm. La longitud del borde plano de posicionamiento secundario de una oblea de silicio de 4- pulgadas es de aproximadamente 18 mm y la longitud del borde plano de posicionamiento secundario de una oblea de silicio de 6- pulgadas es de aproximadamente 22 mm.
